扩散硅压力传感器是什么
发布时间:
2025-07-30
扩散硅压力传感器是一种基于压阻效应的压力传感器。
扩散硅压力传感器是一种基于压阻效应的压力传感器。其核心部件是在硅片上通过扩散杂质的方法形成的应变电阻或压敏电阻,通常采用硅杯结构。当压力作用在传感器上时,硅片产生应力,使电阻值发生变化,通过测量电阻的变化来计算压力的大小。一般会将四个等值电阻组成惠斯通电桥,压力变化使电桥失去平衡,从而输出与压力成比例的电信号。
该传感器具有高精度、高灵敏度、良好的稳定性和耐腐蚀性等特点,且体积小、重量轻,便于安装。它广泛应用于工业自动化、航空航天、汽车工业、医疗卫生、环境监测等领域,可用于测量各种流体和气体的压力,为过程控制、监测和调节提供准确的压力数据。
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